CIC OLED DEVELOPMENT ROOM
長州産業では有機ELを初めとして、広範囲で装置化の研究開発を行っています。
各種実験装置、測定機器等を取り揃えており、お客様の新規材料、新規プロセス、OLED開発のサポートを致します。
- 有機EL蒸着装置
基板サイズ 370×470 に対応
マルチチャンバー方式
- 多機能蒸着スパッタ装置
基板サイズ 口100対応
成膜から封止まで、有機EL素子の作製を真空一貫にて製作できます。
- ミラートロンスパッタ(MTSP)実験装置
有機ELの封止、樹脂への成膜に最適です。
低温で成膜可能なスパッタ装置です。
- RtoR実験装置
ロールtoロール方式により樹脂フィルム上に有機EL素子を作りこむ装置です。蒸着室、スパッタ室を備え素子の一貫生産が可能な構成となっています。
成膜デモンストレーションの対応も可能です。
1)蒸着成膜(有機・無機)
2)MTSP成膜
詳細は、お問い合わせ下さい。
- 有機ELデバイス関連装置 /
- 有機ELデバイス開発室 /
- 有機無機材料蒸着セル・コンポーネント /
- メカトロ関連装置 /
- 精密加工 /
- トータルサポート・アフターサービス /
- 洗浄再生 / オーバーホール